流检漏仪用扩散泵的设计

逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大，对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求，设计了 Ｋ—６５Ｆ风冷金属油扩散泵。本文介绍了 Ｋ—６５Ｆ的特殊结构，论述了采用这种结构的理论依据。并运用真空物理中的理论，气体动力学理论和Ｊａｅｃｋｅｌ理论，对Ｋ—６５Ｆ泵作了性能分析，说明设计的合理性，证明这种结构的扩散泵能够满足逆流检漏仪的特殊要求。