| 微透镜阵列的飞秒激光加工方法 |
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| 引用本文： | 刘伟. 微透镜阵列的飞秒激光加工方法[J]. 精密成形工程, 2016, 8(2): 90-93 |
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| 作者姓名： | 刘伟 |
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| 作者单位： | 陕西国防工业职业技术学院，西安 710300 |
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| 基金项目： | 陕西国防工业职业技术学院科研项目 （Gfy15-09） |
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| 摘 要： | 为研究常用的微透镜制造方法,通过熔融光刻胶法、反应离子束刻蚀技术、微喷打印法、飞秒激光加工法、热压印法等的对比,表明采用飞秒激光加工以及局部腐蚀的方法,能够加工各种形状的微透镜阵列,而且加工时间短,制造成本低,微透镜最小特征尺寸可以达到30μm以内。将飞秒激光加工的微透镜阵列作为模板,运用热压印技术进行复制,不仅能够获得质量良好的微透镜阵列,还能够批量化生产,减小制造成本。
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| 关 键 词： | 熔融光刻胶法；反应离子束刻蚀技术；微喷打印法；飞秒激光加工法；热压印法 |
| 收稿时间： | 2015-12-10 |
| 修稿时间： | 2016-03-10 |
Femtosecond Laser Machining Method of Microlens Array |
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| LIU Wei. Femtosecond Laser Machining Method of Microlens Array[J]. Journal of Netshape Forming Engineering, 2016, 8(2): 90-93 |
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| Authors: | LIU Wei |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | |
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