| 溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜研究 |
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| 引用本文： | 陈黄鹂 罗发 周万城 朱冬梅 吴红焕. 溶胶-凝胶法制备ZAO薄膜研究[J]. 稀有金属材料与工程, 2007, 36(A01): 889-891 |
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| 作者姓名： | 陈黄鹂 罗发 周万城 朱冬梅 吴红焕 |
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| 作者单位： | 西北工业大学凝固技术国家重点实验室,陕西西安710072 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（90305016）资助 |
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| 摘 要： | 研究了用溶胶．凝胶法制备ZAO薄膜的工艺、掺杂及其显微结构。用六水合氯化铝在溶胶中引入Al2O3。掺杂Al的含量为1％，3％，6％和9％。用浸涂法在石英玻璃基片上浸涂ZnAO薄膜，研究了热处理、掺杂对ZAO薄膜相组成和显微结构的影响。X射线衍射结果表明，衍射图谱中无Al2O3的衍射峰。随着掺杂量的变化，ZnO主要衍射峰的位置、晶面间距均发生了有规律的变化，说明Al掺杂进了ZnO晶格中。研究结果表明，溶胶浓度、Al掺杂量、热处理温度都影响薄膜的显微结构。当薄膜厚度较大时，热处理过程中ZnO晶粒呈现明显的择优生长现象。
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| 关 键 词： | 溶胶-凝胶 Al^3＋掺杂 ZAO薄膜 |
| 文章编号： | 1002-185X（2007）S1-0889-03 |
| 修稿时间： | 2007-02-25 |
Study on ZnO:Al (ZAO) Thin Films Prepared by Sol-Gel Process |
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| Chen Huangli, Luo Fa, Zhou Wancheng, Zhu Dongmei, Wu Honghuan. Study on ZnO:Al (ZAO) Thin Films Prepared by Sol-Gel Process[J]. Rare Metal Materials and Engineering, 2007, 36(A01): 889-891 |
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| Authors: | Chen Huangli Luo Fa Zhou Wancheng Zhu Dongmei Wu Honghuan |
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