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| 栅长0．04μm的MOS晶体管 | |
| 摘 要： | 栅长０．０４μｍ的ＭＯＳ晶体管日本东芝公司研制成功世界上最小晶体管，栅长为０．０４μｍ。这种晶体管相当于１００Ｇ位以上的存贮器，适用于高速ＭＰＵ、高速、高频ＩＣ。该公司采用１．５Ｖ低电压、栅绝缘膜厚度０．００３μｍ、激态复合物曝光技术和固层扩散法等技... |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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