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反应离子刻蚀（RIE）腐蚀双层金属布线中介质孔及有关...

引用本文：	张一平,祝军.反应离子刻蚀（RIE）腐蚀双层金属布线中介质孔及有关...[J].上海半导体,1992(1):21-25.

作者姓名：	张一平祝军

摘要：
关键词：	反应离子刻蚀腐蚀金属布线 AES
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