圆形电子束制版自动对准采用的曲线拟合技术

本文采用最小二乘法进行曲线拟合的技术,推导出拟合直线的计算公式。该公式通过编程软件应用于电子束制版自动对准工作中,它对提高对准用各校正量的计算精度起了关键作用,进而提高了圆形电子束曝光机的制版精度。对于通过离散点需要拟合成直线的场合,该算法具有普遍的意义。