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| 锰钴镍氧薄膜热敏型多元红外探测器研制 | |
| 作者姓名： | 张雷博 侯云 周炜 黄志明 褚君浩 |
| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海,200083 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金（61275111,11204336）;上海市自然科学基金（11ZR1442400, 12ZR1452200） |
| 摘 要： | 通过光刻和湿化学腐蚀工艺,成功制作出规格为2×8的多元锰钴镍氧薄膜红外探测器件.测试表明,室温下锰钴镍氧薄膜材料负电阻温度系数达-3.8%K-1.10 Hz调制频率和±15 V电压偏置条件下,线列器件典型探测元黑体响应率为107 V/W,探测率为2×107cmHz1/2/W,8元器件响应不均匀度为5.9%.实验结果表明锰钴镍氧薄膜焦平面器件制备的可行性,有可能作为新型室温全波段探测器件得到应用. |
| 关 键 词： | 锰钴镍氧薄膜 热敏材料 线列焦平面 |
| 收稿时间： | 2013-03-13 |
| 修稿时间： | 2014-05-22 |
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