| 组合法制备Pb(ZrxTi1-x)O3铁电薄膜及性能研究 |
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| 引用本文： | 何岗,彭超,赵德森,何明中,洪建和,栗海峰,公衍生.组合法制备Pb(ZrxTi1-x)O3铁电薄膜及性能研究[J].材料科学与工艺,2014,22(4):25-29. |
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| 作者姓名： | 何岗 彭超 赵德森 何明中 洪建和 栗海峰 公衍生 |
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| 作者单位： | 中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074;中国地质大学武汉 材料与化学学院,武汉 430074 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50972135)；新型陶瓷与精细过程国家重点实验室开放课题(KF201305). |
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| 摘 要： | 为了系统地探讨Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)薄膜组成-结构-性能之间的规律,在室温和无蒸馏回流条件下,利用配制的前驱溶液PT(Pb和Ti的金属有机物溶液)和PZ(Pb和Zr的金属有机物溶液)及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜.XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为(111),晶格参数变化规律与传统方法制备的PZT薄膜的结果一致.x=0.3的前驱体在200℃附近出现特殊的热分解现象.XPS测试结果证实薄膜成分基本符合理论值,SEM结果显示薄膜界面清晰,与基片接触良好,厚度在450 nm左右.电滞回线测试表明,富钛区样品剩余极化与矫顽场都较大;近准同型相界附近样品具有良好的铁电性,剩余极化较大且矫顽场较小;富锆区样品剩余极化与矫顽场较小,出现反铁电特征.
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| 关 键 词： | 化学溶液分解 组合合成 Pb(ZrxTi1-x)O3 薄膜 铁电性 |
| 收稿时间： | 2012/12/19 0:00:00 |
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