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日本出光兴产拟自产ArF光刻胶用金刚烷
作者姓名:
徐维正
摘 要:
日本出光兴产公司(Idemitsu Kosan)着手自己生产ArF光刻胶原料金刚烷。该公司将投资13亿日元(1114万美元)于2007年1月在日本的山口县德山开始建设300t/a装置,计划2007年9月建成,2008年1月正式投入工业生产。
关 键 词:
日本出光兴产公司
金刚烷
光刻胶
ArF
工业生产
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