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新型激光二极管列阵光束整形方法
引用本文:吴芃,王翠鸾,韩淋,刘媛媛,李伟,冯小明,刘素平,马骁宇. 新型激光二极管列阵光束整形方法[J]. 半导体技术, 2010, 35(1): 50-53. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.01.012
作者姓名:吴芃  王翠鸾  韩淋  刘媛媛  李伟  冯小明  刘素平  马骁宇
作者单位:中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083;中国科学院,半导体研究所,北京,100083
基金项目:国家自然科学基金资助项目(60576041)
摘    要:设计并制作了一套简单有效的光束整形系统,用以改善激光二极管列阵器件(LDA)的光束质量,减小快慢轴光束质量积的差别,实现高亮度光纤耦合输出。首先采用快慢轴准直透镜压缩LDA的发散角,然后采用双面分区镀膜的单片平面镜,通过反射和折射将压缩后的LDA慢轴方向的光束分为7束,并将7束子光束在快轴方向重新排列,实验测得整形装置的效率为95.2%。该整形系统设计简单,效率高,具有很高的应用价值。

关 键 词:半导体激光器  光束整形  双面分区镀膜的平面反射镜  高亮度

Novel Beam-Shaping Method for LDA
Wu Peng,Wang Cuiluan,Han Lin,Liu Yuanyuan,Li Wei,Feng Xiaoming,Liu Suping,Ma Xiaoyu. Novel Beam-Shaping Method for LDA[J]. Semiconductor Technology, 2010, 35(1): 50-53. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.01.012
Authors:Wu Peng  Wang Cuiluan  Han Lin  Liu Yuanyuan  Li Wei  Feng Xiaoming  Liu Suping  Ma Xiaoyu
Affiliation:Institute of Semiconductor;Chinese Academy of Sciences;Beijing 100083;China
Abstract:In order to change LDA output beam into a style which can be coupled with small core radius fiber,a simple but efficient system was designed.A fast and slow axis collimation module was used to collimate the output beam from LDA,after that a plant mirror with both sides coated in special area was used to divide the beam into 7 sub-beam in slow-axis direction and reordered in fast-axis direction.After beam shaping process,the quality of the LDA output beam are improved a lot which can be focused into fiber(40...
Keywords:semiconductor diode laser  beam-shaping  plane mirrors with both sides coated  high brightness  
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