钝化膜晶体管的电子辐照效应 |
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引用本文: | 谢建华,林理彬,田景文,陈伯英,张兴常,唐方元,熊文树,林茂清.钝化膜晶体管的电子辐照效应[J].核电子学与探测技术,1982(1). |
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作者姓名: | 谢建华 林理彬 田景文 陈伯英 张兴常 唐方元 熊文树 林茂清 |
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作者单位: | 四川大学物理系
(谢建华,林理彬,田景文,陈伯英),星光半导体厂
(张兴常),成都720所
(唐方元,熊文树),成都720所(林茂清) |
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摘 要: | 本文介绍了Al_2O_3单层钝化膜及Al_2O_3-SiO_2双层钝化膜掩蔽下的外延PNP-3CK2型开关晶体三极管,在高能电子辐照下性能变化的情况,并与无膜管子的辐照情况作了对比。
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