| 磁光盘多层结构AIN和AlSiN薄膜材料研究 |
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| 引用本文： | 缪向水,李佐宜,胡用时,林更琪.磁光盘多层结构AIN和AlSiN薄膜材料研究[J].功能材料,1994(1). |
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| 作者姓名： | 缪向水 李佐宜 胡用时 林更琪 |
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| 作者单位： | 华中理工大学 |
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| 摘 要： | 本文研究了磁光材料保护膜ＡＩＮ和ＡＩＳｉＮ薄膜材料，讨论了它们的性能与溅射工艺参数的关系，研究了ＡＩＮ及ＡｌＳｉＮ薄膜对磁光盘材料的保护作用，研究同时表明：ＡＩＮ及ＡｌＳｉＮ保护膜能对磁光材料起干涉增强磁光克尔效应作用。
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| 关 键 词： | 磁光材料保护作用，AINAlsiN干涉增强 |
AIN and AISiN Films of Multistructure Magneto-Optical Disk |
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| Miao Xiangshui, Li Zuoyi, Hu Yongshi, Lin Gengqi.AIN and AISiN Films of Multistructure Magneto-Optical Disk[J].Journal of Functional Materials,1994(1). |
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| Authors: | Miao Xiangshui Li Zuoyi Hu Yongshi Lin Gengqi |
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| Abstract: | The protective films of AIN andAlSiN for magneto-optical disk have been studied.The relation between their properties and sputteringcondition,the corrosion protective effect while theKerr enhancement effect for magnetooptical mediahave been reported. |
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| Keywords: | AlN films ALSiN films magneto-optical disk protective effect Kerr enhancement |
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