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| 金属薄膜应变计桥路电阻的测试和计算 | |
| 作者姓名： | 彭士元 欧阳左群 |
| 作者单位： | 机电部第49研究所(彭士元)，机电部第49研究所(欧阳左群) |
| 摘 要： | 在传感器的制造中,应变计是个核心部件。尤其是采用真空溅射或真空沉积方法制成的金属薄膜应变计,经常做成应变的形式,其组成桥路的四个应变栅往往连接在一起。这样每个桥臂的电阻值不易直接测得,因为它和其它三个桥臂电阻呈串并联的形式,如图1所示。 |
| 关 键 词： | 金属 薄膜 电阻 测试 应变计 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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