TRC—2020型磁控溅射镀膜机低温泵的设计考虑

本文从溅射镀膜的要求出发，设计出符合溅射镀膜要求的 ＺＤＢ—２００低温泵。在分析低温抽气机理的基础上，提出了ＺＤＢ—２００型制冷机低温泵的主要参量。为此，在设计一、二级冷阵中，既考虑，到冷阵结构的一合理性，又要考虑冷阵温度分布的均匀一致，同时对如何提高致冷机的致冷效率也进行了讨论。