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| 磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用 | |
| 作者姓名： | 李云奇 徐成海 |
| 作者单位： | 东北大学，辽宁省计量测试技术研究所，锦州真空应用特种设备厂 |
| 摘 要： | 本文扼要阐述了磁控溅射镀膜技术在建材及民用工业中的应用前景及特点，所需设备类型及镀膜过程中应注意的若干问题，并对若干种镀膜玻璃的膜系及镀膜玻璃的性能要求与测试等问题进行了介绍。 |
| 关 键 词： | 磁控，溅射镀膜技术，建材 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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