| 集成无源元件在无线系统中的应用及工艺 |
| |
| 引用本文： | 孙芳魁,姜巍,赵晖,张守涛.集成无源元件在无线系统中的应用及工艺[J].半导体技术,2006,31(4):241-244. |
| |
| 作者姓名： | 孙芳魁 姜巍 赵晖 张守涛 |
| |
| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学,哈尔滨,150078
2. 黑龙江八达通用微电子有限公司,哈尔滨,150078 |
| |
| 摘 要： | 对在现代无线通讯系统中应用的无源元件集成化的主要解决方案进行了介绍与分析,并对比了半导体薄膜集成技术与厚膜集成技术的主要优缺点,以研发的一种薄膜集成RCD低通滤波芯片为例,介绍了薄膜集成无源元件的设计方法和主要工艺流程.
|
| 关 键 词： | 无源元件集成化 薄膜集成电路 低通滤波芯片 薄膜集成 无源元件集成化 无线系统 应用 工艺流程 System Wireless Element Passive Integrated Process 设计方法 低通滤波芯片 膜集成技术 半导体 分析 方案 无线通讯系统 现代 |
| 文章编号： | 1003-353(2006)04-0241-04 |
| 收稿时间： | 2006-01-25 |
| 修稿时间： | 2006年1月25日 |
Application and Process of Integrated Passive Element in Wireless System |
| |
| SUN Fang-kui,JIANG Wei,ZHAO Hui,ZHANG Shou-tao.Application and Process of Integrated Passive Element in Wireless System[J].Semiconductor Technology,2006,31(4):241-244. |
| |
| Authors: | SUN Fang-kui JIANG Wei ZHAO Hui ZHANG Shou-tao |
| |
| Affiliation: | 1.Physics Department, Harbin Institute of Technology; 2. Harbin Bada Semiconductor lnc., Harbin 150078 China |
| |
| Abstract: | The key solutions of passive elements integration for modern wireless communication system were introduced and analyzed.The main advantages ad shortcomings of integrating tech-nologies for semiconductor thin and thick films were compared.An example of thin film integrated RCD low-pass filter was given,the design and process of the thin film integrated passive elements were introduced. |
| |
| Keywords: | passive element integration thin film IC low-pass filter |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
