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| 高纯氢气净化工艺设备的试制 | |
| 引用本文： | 吕鸣山.高纯氢气净化工艺设备的试制[J].低温与特气,1986(1):10-12. |
| 作者姓名： | 吕鸣山 |
| 作者单位： | 天津市半导体材料厂 |
| 摘 要： | 随着科学技术的迅速发展，高纯氢作为半导体材料生产中的反应气获得了日益广泛的应用，对氢气的纯度要求也越来越高。为了提高半导体材料的质量和成品率，首先要提高半导体材料生产的基础材料——氢气质量。 |
| 关 键 词： | 工艺设备 氢气净化 试制 材料生产 半导体材料 科学技术 基础材料 反应气 高纯氢 成品率 质量 |
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