高纯氢气净化工艺设备的试制

随着科学技术的迅速发展，高纯氢作为半导体材料生产中的反应气获得了日益广泛的应用，对氢气的纯度要求也越来越高。为了提高半导体材料的质量和成品率，首先要提高半导体材料生产的基础材料——氢气质量。