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| 高精度的光电式衍射光栅刻划机 | |
| 引用本文： | 时轮,郝德阜,齐向东. 高精度的光电式衍射光栅刻划机[J]. 仪器仪表学报, 2001, 22(Z1): 103-104 |
| 作者姓名： | 时轮 郝德阜 齐向东 |
| 作者单位： | 1. 吉林工学院机电学院 2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 摘 要： | 光栅刻划机被誉为“精密机械之王”,采用高精度的衍射光栅刻划机刻划依然是制作高质量母光栅最重要的手段,因此,对高精度的光电式光栅刻划机进行研究具有重要的现实意义。文中主要阐述了两类光电式刻划机的控制原理,并对其特点进行了比较。 |
| 关 键 词： | 光栅刻划机 控制原理 对比 |
High Precision Photoelectric Diffraction Grating Ruling Engine |
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