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| 微电子技术新领域 | |
| 作者姓名： | 陈克金 邵凯 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京,210016 |
| 摘 要： | 微电子技术新领域陈克金，邵凯（南京电子器件研究所，南京，２１００１６）（一）微电子机械系统１引言微电子机械系统（ＭＥＭＳ）的技术目标是把微机械和集成电路融为一体，将电子系统与外部世界联系起来。它不仅可以感受运动、光、声、热、磁等自然界的外部信号，将这... |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 MEMS 制造技术 微电子技术 |
| 修稿时间： | 1999-03-01 |
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