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微波等离子体CVD合成金刚石薄膜的生长特性

引用本文：	冉均国,郑昌琼.微波等离子体CVD合成金刚石薄膜的生长特性[J].微细加工技术,1990(2):1-7.

作者姓名：	冉均国郑昌琼

摘要：
关键词：	金刚石薄膜微波等离子体 CVD
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