Fe/Si3N4复合多层膜的制备及其电磁性能 |
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引用本文: | 杨长胜,程海峰,李永清. Fe/Si3N4复合多层膜的制备及其电磁性能[J]. 新技术新工艺, 2005, 0(4): 52-53 |
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作者姓名: | 杨长胜 程海峰 李永清 |
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作者单位: | 国防科技大学新型陶瓷纤维及复合材料国防科技重点实验室,410073 |
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基金项目: | 新型陶瓷纤维及复合材料国防科技重点实验室基金 |
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摘 要: | 多层膜结构隐身材料因其特有的结构具有非常好的吸波性能,在隐身领域有很大的应用前景。用磁控溅射方法制备了Fe/Si3N4复合多层膜,利用SEM分析了其微观形貌,测试了其电磁参数,然后与传统吸波材料羰基铁粉比较了低频下的电磁参数。结果表明,Fe/Si3N4复合多层膜的低频吸波性能优越。
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关 键 词: | Si3N4 电磁性能 复合 Fe 制备 吸波性能 电磁参数 多层膜结构 SEM分析 隐身材料 磁控溅射 微观形貌 羰基铁粉 吸波材料 低频 |
Fabrication and Electromagnetic Performance of Fe/Si3N4 Multilayers |
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