| 一种新的求解ULSI双介质互连电容的模拟电荷法 |
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| 引用本文： | 朱兆旻,肖夏,阮刚,宋任儒,刘勇.一种新的求解ULSI双介质互连电容的模拟电荷法[J].半导体学报,2001,22(2):208-213. |
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| 作者姓名： | 朱兆旻 肖夏 阮刚 宋任儒 刘勇 |
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| 作者单位： | [1]复旦大学电子工程系专用集成电路与系统国家重点实验室，上海200433 [2]开姆尼兹技术大学微技术中心，德国开姆 |
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| 摘 要： | 论述了一种模拟电荷法与镜像格林函数法相结合 ,对模拟电荷用 DFP法进行最优设置的提取双介质 UL SI互连电容参数的基本算法 ,并与其它互连电容模拟软件模拟的结果进行了比较 ,相对偏差小于 10 % ,表明这种新的模拟电荷法是有效的和可行的
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| 关 键 词： | 格林函数法 模拟电荷法 互连电容 |
| 文章编号： | 0253-4177(2001)02-0208-06 |
| 修稿时间： | 1999年12月18 |
A New Simulated Charges Method to Calculate Interconnect Capacitance with Two Kinds of Media |
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| ZHU Zhao-min.A New Simulated Charges Method to Calculate Interconnect Capacitance with Two Kinds of Media[J].Chinese Journal of Semiconductors,2001,22(2):208-213. |
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| Authors: | ZHU Zhao-min |
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| Abstract: | A new simulated charges method,which combines the method of mirror Green's function and optimizes the simulated charges with DFP method,is used to extract the capacitance parameter of ULSI interconnection with two kinds of media.Compared with the results from other simulation of interconnect capacitance.The relative deviation is within 10%,which shows that this new method is efficient and feasible. |
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| Keywords: | method of Green's function method of simulated charges interconnect capacitance |
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