| 光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究 |
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| 引用本文： | 高斐,赵江山,王倩,刘广义,白路军,周翊,孟庆宾.光刻用准分子激光器中心波长在线测量研究[J].光电子．激光,2016,27(7):699-703. |
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| 作者姓名： | 高斐 赵江山 王倩 刘广义 白路军 周翊 孟庆宾 |
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| 作者单位： | 中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 ;中国科学院大学,北京 100049;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094;中国科学院 光电研究院,北京 100094 ;北京市准分子激光工程技术研究中心,北 京 100094 ;中国科学院大学,北京 100049 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(61405202)和中国科学院光电研究院创新(Y50B17A12Y)资助项目 (1.中国科学院光电研究院,北京 100094； 2．北京市准分子激光工程技术研究中心,北京 100094; 3.中国科学院大学,北京 100049) |
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| 摘 要： | 实现了一种准分子激光光刻光源中心波长的实时测 量方法。基于法布里珀罗(F-P)标准具与中阶梯光栅的相关测量 装置,通过对 F-P标准具的干涉条纹和光栅衍射条纹的分析,实现了对光刻光源输出激光中心波长的在 线有效测量。整 个测量装置体积小、成本低,在500～3000Hz 高重频条件下,实现了亚pm量级的测量精度,标准差低于0.1pm,取 得了较好的实验结果。
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| 关 键 词： | 准分子激光器 光刻 中心波长 在线测量 |
| 收稿时间： | 2016/1/12 0:00:00 |
Center wavelength measurement in photolithographic excimer laser |
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| GAO fei,ZHAO Jiang-shan,WANG Qian,LIU G uang-yi,BAI Lu-jun,ZHOU Yi and MENG Qing-bin.Center wavelength measurement in photolithographic excimer laser[J].Journal of Optoelectronics·laser,2016,27(7):699-703. |
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| Authors: | GAO fei ZHAO Jiang-shan WANG Qian LIU G uang-yi BAI Lu-jun ZHOU Yi and MENG Qing-bin |
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| Affiliation: | Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a ;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a;Academy of Opto-electronics,Chinese Academy of Sciences,Beijing 100094,Chin a ;Beijing Excimer Laser Technology and Engineering Center,Beijing 100094,Chin a ;University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China |
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| Abstract: | |
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