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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
MIS(Au-SiO_2-Si)隧道发光结
作者姓名:
蔡益民
孙承烋
高中林
作者单位:
江苏省南京市东南大学电子工程系,东南大学电子工程系
摘 要:
在研究一般MIM(Al-Al2O3-Au)结的基础上,为了克服Al的不稳定性和改善结的性能,我们采用半导体材料Si代替Al,研制成功MIS(Au-SiO2-Si)隧道结,观察到了稳定的发光现象.介绍了MIS结的基本结构和工艺流程,分析了结中SPP的各个模式,讨论了结的发光光谱,阐明了MIS结的发光机理.
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