| RF MEMS技术在毫米波探测系统中的应用 |
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| 引用本文： | 张俊峰,李兴国,娄国伟. RF MEMS技术在毫米波探测系统中的应用[J]. 现代雷达, 2007, 29(8): 99-101120 |
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| 作者姓名： | 张俊峰 李兴国 娄国伟 |
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| 作者单位： | 南京理工大学毫米波光波近感技术研究所,南京,210094 |
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| 摘 要： | 微机电系统（MEMS）是一项与集成电路制造工艺相似的新兴技术，其研究领域已扩展到了射频（RF）与微波领域，并有继续向毫米波频率扩展的趋势。文中结合RFMEMS技术研究的最新进展，研究了如何利用最新的RFMEMS技术设计毫米波探测系统，以实现毫米波探测系统的小型化、低功耗和高性能。
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| 关 键 词： | 微机电系统 毫米波 探测系统 |
| 修稿时间： | 2007-03-172007-07-02 |
Application of RF MEMS in Millimeter-wave Systems |
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| ZHANG Jun-feng,LI Xing-guo,LOU Guo-wei. Application of RF MEMS in Millimeter-wave Systems[J]. Modern Radar, 2007, 29(8): 99-101120 |
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| Authors: | ZHANG Jun-feng LI Xing-guo LOU Guo-wei |
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| Abstract: | MEMS(Microelectromechanical System)technology is a new technique like integrated circuits.Presently,MEMS is entering the field of microwave and millimeter-wave.Based on the latest advance of MEMS technology,this paper focuses on how to realize millimeter-wave detection system using RF MEMS technique to improve performance,reduce the power consumption and system size. |
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| Keywords: | MEMS millimeter-wave detection system |
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