| 径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究 |
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| 引用本文： | 丛明,张士军,金洙吉,康仁科.径向直线运动型硅片传输机器人的设计与研究[J].制造业自动化,2005,27(2):35-37. |
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| 作者姓名： | 丛明 张士军 金洙吉 康仁科 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,大连,116024 |
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| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA421230) |
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| 摘 要： | 结合径向直线运动型硅片传输机器人的设计，分别介绍了该机器人的升降旋转部件、径向伸缩部件、末端翻转部件的机构以及工作原理，并且对径向伸缩部件的直线运动机构进行了运动学分析。
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| 关 键 词： | 硅片传输机器人 机构 运动学分析 |
| 文章编号： | 1009-0134(2005)02-0035-03 |
| 修稿时间： | 2004年11月18 |
The design and research of radial and linear movement wafer robot |
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| CONG Ming,ZHANG Shi-jun,JIN Zhu-ji,KANG Ren-ke.The design and research of radial and linear movement wafer robot[J].Manufacturing Automation,2005,27(2):35-37. |
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| Authors: | CONG Ming ZHANG Shi-jun JIN Zhu-ji KANG Ren-ke |
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| Abstract: | Based on the design ofradial and linearmovement wafer robot, this paper respectively introduces the up-down and rotation component, radiallinearstretch component, end rota- tion componentand the principle of work.The kinematics analysis of the linear mechanism of radialstretch component is presented. |
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| Keywords: | wafer robot mechanism kinematics analysis |
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