衍射光栅的半波相位差面及其与光栅误差的关系

本文介绍了光栅两束衍射光相干涉形成半波相位差面的概念,指出分光光栅干涉仪的干涉条纹方向及宽度取决于分光面和半波相位差面的相对位置。通过对有误差光栅半波相位差面的分析,导出了半波相位差面的变形与光栅误差的关系,为分析光栅误差对此种干涉仪信号精度的影响提供了一种方法。