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| 微电子技术新领域 | |
| 作者姓名： | 陈克金 邵凯 |
| 作者单位： | 南京电子器件研究所,南京,210016 |
| 摘 要： | （二）纳米电子技术１引言世界微电子技术的发展趋势表明，９０年代是亚微米、深亚微米生产技术蓬勃发展的时代。预计到２１世纪２０年代，硅加工技术将达到极限，进入纳米技术的新时代。在纳米尺寸（０．１～１００ｎｍ）空间内，原来的晶体管理论已不再适用；原来概念上... |
| 关 键 词： | 微电子技术 纳米电子技术 纳米技术 |
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