| TiO2薄膜结构的研究 |
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| 引用本文： | 武正簧,吴争鸣,李文军.TiO2薄膜结构的研究[J].真空与低温,2001,7(2):81-84. |
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| 作者姓名： | 武正簧 吴争鸣 李文军 |
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| 作者单位： | 太原理工大学,化学工程与技术学院,山西,太原,030024 |
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| 摘 要： | 研究了沉积温度和退火温度对TiO2薄膜结构的影响.当沉积温度在110～250℃时,薄膜结构为无定型,350～500℃时为锐钛型,600℃以上是金红石;当退火温度在600℃时,TiO2薄膜为锐钛型;800℃以上是金红石.氧气的加入能够影响薄膜的沉积速率,但不影响薄膜的晶体结构.
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| 关 键 词： | 二氧化钛 薄膜 晶体结构 |
| 文章编号： | 1006-7086(2001)02-0081-04 |
| 修稿时间： | 2000年9月14日 |
RESEARCH ON TiO2 THIN FILM CRYSTAL STRUCTURE |
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| WU Zheng-huang,WU Zheng-ming,LI Wen-jun.RESEARCH ON TiO2 THIN FILM CRYSTAL STRUCTURE[J].Vacuum and Cryogenics,2001,7(2):81-84. |
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| Authors: | WU Zheng-huang WU Zheng-ming LI Wen-jun |
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| Abstract: | |
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