| 反应离子镀光学薄膜的牢固度和表面粗糙度分析 |
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| 引用本文： | 王建成 韩丽瑛. 反应离子镀光学薄膜的牢固度和表面粗糙度分析[J]. 激光与红外, 1993, 23(6): 40-41,32 |
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| 作者姓名： | 王建成 韩丽瑛 |
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| 作者单位： | 河南师范大学物理系，清华大学现代应用物理系，清华大学现代应用物理系 新乡 453002，北京 100083，北京 100083 |
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| 摘 要： | 本文对反应离子镀和反应蒸发（电子束蒸发）工艺制备的光学薄膜的牢固度和表面粗糙度进行了检测，并将结果进行对比。
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| 关 键 词： | 反应离子镀 光学薄膜 表面粗糙度 |
Abrasion Resistance and Surface Roughness of Optical Coatings by Reactive Ion Plating |
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| Wang Jiancheng. Abrasion Resistance and Surface Roughness of Optical Coatings by Reactive Ion Plating[J]. Laser & Infrared, 1993, 23(6): 40-41,32 |
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| Authors: | Wang Jiancheng |
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| Abstract: | We measured the abrasion resistance and surface roughness of optical coatings by reactive ion plating deposition and reactive evaporation (electron beam evaporation ). The results have been carefully compared. |
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| Keywords: | resctive ion plating opeical thin films abrasion resistance surface roughness |
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