电子级高纯氯研制成功 |
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作者姓名: | 孔祥芝 |
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作者单位: | 不详 |
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摘 要: | 电子级高纯氯是我国电子工业当前急需的特种气体,主要用于半导体元、器件和大规模集成电路制造工序中的热氧化、反应离子蚀刻、晶体生长和MCVD法生产单膜光导纤维预制件,以及有关工业、基础科学研究等尖端技术。我国过去使用的电子级高纯氯全部依赖进口。
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关 键 词: | 高纯氯 电子级 研制成功 大规模集成电路 反应离子蚀刻 基础科学研究 MCVD法 特种气体 电子工业 制造工序 光导纤维 晶体生长 尖端技术 导体元 热氧化 预制件 |
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