| 光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度 |
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| 引用本文： | 崔建文,张军,唐文彦,李慧鹏.光学衍射法细圆柱体直径测量的不确定度[J].光电工程,2005,32(7):55-58. |
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| 作者姓名： | 崔建文 张军 唐文彦 李慧鹏 |
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| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001;哈尔滨工业大学,自动化测试与控制系,黑龙江,哈尔滨,150001 |
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| 摘 要： | 为了提高光学衍射法细圆柱体直径测量精度,用递归法建立了更精确的改进模型。运用改进模型测量细圆柱体直径时,克服了传统测量模型由衍射角引起的原理误差,提高了测量精度。光源的波长误差、暗条纹位置误差和透镜焦距调整误差均会产生测量不确定度,使用改进模型时的计算值分别为0.024μm,1.920μm和0.529μm。细圆柱体直径测量实验结果表明,基于改进模型的光学衍射法的相对测量误差在0.5%以下,优于目前1%的水平;测量不确定度小于2μm,与理论分析相一致。
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| 关 键 词： | 直径测量 圆柱体测量 夫琅和费衍射 测量误差 |
| 文章编号： | 1003-501X(2005)07-0055-04 |
| 收稿时间： | 2004/9/14 |
| 修稿时间： | 2004年9月14日 |
Uncertainty of thin cylinder diameter measured by means of optical diffraction |
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| CUI Jian-wen,ZHANG Jun,TANG Wen-yan,LI Hui-peng.Uncertainty of thin cylinder diameter measured by means of optical diffraction[J].Opto-Electronic Engineering,2005,32(7):55-58. |
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| Authors: | CUI Jian-wen ZHANG Jun TANG Wen-yan LI Hui-peng |
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| Keywords: | Diameter measurement Cylindrical measurement Fraunhofer diffraction Measuring errors |
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