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| 文摘 | |
| 摘 要： | 20 0 10 30大面积ＣＶＤ金刚石膜的热铁板抛光 刊 ,中 ]/刘敬明 ,蒋政 ,等∥北京科技大学学报 ,2 0 0 1,2 3(1) :43～ 45研制成功国内第 1台大面积ＣＶＤ金刚石膜热铁板抛光机。它可以在 10 -3 Ｐａ真空条件下 ,加热到 110 0℃ ;抛光台可以在 0～ 10ｒ/ｍｉｎ间实现无线调速 ,一次完成 3片Φ110ｍｍ的金刚石膜的抛光。金刚石膜在 980℃ ,2ｈ抛光的结果表明 ,该装置有良好的抛光效果。金刚石膜在 980℃抛光不同时间的Ｒａｍａｎ谱表明 ,金刚石热铁板抛光是金刚石石墨化和Ｃ原子不断扩散的过程。图 6参 62 0 0 10 31色谱法分离纯化富勒烯的研… |
文摘 |
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