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| 激光合成非晶态Si_3N_4粉末 | |
| 作者姓名： | 李道火 赵秉纯 赵华珍 仲志英 李建国 宋瑞舟 宁海平 费渊 |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光机所(李道火，赵秉纯，赵华珍，仲志英，李建国，宋瑞舟，宁海平)，中国科学院安徽光机所(费渊) |
| 摘 要： | 用400W连续CO_2激光辐照SiH_4以及SiH_4+NH_3的快速流动气体,获得了非晶硅粉末和非晶氮化硅粉末,颗粒度<0.2μm。观察了压力、流速、配比、谱线、功率与生成物之间的关系。对生成的粉末进行了化学计量、全相、光谱和结构分析,发现激光合成的非晶Si_3N_4粉末Si-N键红外吸收峰为951cm~(-1),相对于其它方法得到的非晶Si_3N_4有较大蓝移现象,甚至 |
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