| 一种新型谐振加速度计 |
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| 引用本文： | 贾玉斌,郝一龙,张嵘. 一种新型谐振加速度计[J]. 光学精密工程, 2004, 12(Z1): 284-287 |
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| 作者姓名： | 贾玉斌 郝一龙 张嵘 |
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| 作者单位： | 1. 北京大学,微电子研究院,北京,100871
2. 清华大学,精仪系,北京,100084 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划863项目(No.2002AA430020);武器装备预研项目(No.41318.8.8.1.2)资助. |
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| 摘 要： | 描述了一种新的谐振加速度计,这种加速度计由1个质量块、2个谐振音叉和一套由锚点支撑的弯曲杠杆系统组成.在加速度的作用下,一个音叉受到轴向拉力的作用频率变大;另一个音叉受到轴向压力的作用频率变小.杠杆系统放大了由加速度引起的轴向力,使加速度灵敏度提高.这种加速度计可以用微机械体硅工艺来制作.实验研制的加速度计灵敏度为27.3 Hz/g,分辨率为167.8μg.
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 谐振块硅 |
| 文章编号： | 1004-924X(2004)03-0284-04 |
| 收稿时间： | 2004-03-22 |
| 修稿时间： | 2004-03-22 |
Micromachined resonant bulk-silicon accelerometer |
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| JIA Yu-bin,HAO Yi-long,ZHANG Rong. Micromachined resonant bulk-silicon accelerometer[J]. Optics and Precision Engineering, 2004, 12(Z1): 284-287 |
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| Authors: | JIA Yu-bin HAO Yi-long ZHANG Rong |
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