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采用电化学自终止腐蚀制造硅传声器
作者姓名:
朱海军
作者单位:
复旦大学电子工程系传感器研究室
摘 要:
简述了单昌硅压阻式传声器的结构参数设计和工艺制造技术,采用pn结自终止电化学腐蚀技术得薄且平整性较好的振膜。测试结果表明:1kHz时灵敏度为-58.4dB/Pa。
关 键 词:
硅传声器 自终止腐蚀 振膜 声传感器 制造
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