超硬材料表面镀覆技术及应用(续) |
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引用本文: | 臧建兵,赵玉成,王明智,王艳辉.超硬材料表面镀覆技术及应用(续)[J].金刚石与磨料磨具工程,2000(4):7-12. |
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作者姓名: | 臧建兵 赵玉成 王明智 王艳辉 |
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作者单位: | 燕山大学!066004 |
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摘 要: | 第四节真空微蒸发镀覆技术原理1关键技术1.1镀覆温度必须低于800℃,高于600℃。真空微蒸发镀覆温度650~750℃ 为了保证镀覆Ti过程中,金刚石表面有碳化物层形成,温度应选择高于C与Ti反应温度,为此我们首先采用真空磁控溅射方法对金刚石镀Ti。由于镀覆温度低,钛层只是物理吸附在金刚石表面。测定其DTA曲线发现,在600~1200℃出现明显的放热峰。根据热力学数据,Ti与金刚石碳原子反应形成碳化物是自由能降低过程,即放热反应。足够的温度是使反应克服能垒、原子扩散所必须的。由DTA曲线分析l与…
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关 键 词: | 超硬材料 真空微蒸发镀覆 磁控溅射 金刚石 |
Superhard Abrasives Cladding Technology and Its Application |
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