| 基于双压电陶瓷驱动原理的精密定位平台研究 |
| |
| 引用本文： | 胡志平,谷森,唐飞扬,孙浩楠,朱军辉,王勇,汝长海. 基于双压电陶瓷驱动原理的精密定位平台研究[J]. 压电与声光, 2020, 42(3): 317-320 |
| |
| 作者姓名： | 胡志平 谷森 唐飞扬 孙浩楠 朱军辉 王勇 汝长海 |
| |
| 作者单位： | （1．苏州大学 机器人与微系统中心，江苏 苏州 215021；2.苏州纳米科技协同创新中心，江苏 苏州 215021；;3.上海大学 机电工程与自动化学院，上海 200072） |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（61774107） |
| |
| 摘 要： | 为解决精密定位平台大运动行程与大扫描范围之间的矛盾性问题，实现大行程跨尺度纳米定位，该文提出了一种基于双压电陶瓷驱动原理的精密定位平台。该装置结合了粘滑驱动定位平台大运动行程、压电扫描器大扫描范围及高分辨率的优点。平台由基座、驱动模块、柔性铰链机构和导轨组成。驱动模块包括大、小压电陶瓷，大、小压电陶瓷分别以扫描和步进模式驱动定位平台。实验表明，该精密定位平台最大运动行程为21 mm，最大扫描范围为4.9 μm，最小分辨率为16 nm，水平运动方向最大步进运动速度可达10 mm/s，满足大行程、大扫描范围兼容的要求。
|
| 关 键 词： | 粘滑驱动；压电扫描器；扫描范围；扫描模式；步进模式；分辨率 |
Research on Precision Positioning Stage Based on Dual Piezoceramics |
| |
| HU Zhiping,GU Sen,TANG Feiyang,SUN Haonan,ZHU Junhui,WANG Yong,RU Changhai. Research on Precision Positioning Stage Based on Dual Piezoceramics[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2020, 42(3): 317-320 |
| |
| Authors: | HU Zhiping GU Sen TANG Feiyang SUN Haonan ZHU Junhui WANG Yong RU Changhai |
| |
| Affiliation: | 1.Robotics and Microsystems Center of Soochow University, Suzhou 215021, China;;2.Collaborative Innovation Center of Suzhou Nano Science and Technology, Suzhou 215021,China;;3.College of Mechanical and Electrical Engineering and Automation, Shanghai University, Shanghai 200072,China) |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | stick slip piezo scanner scanning range scanning mode stepping mode resolution |
|
| 点击此处可从《压电与声光》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《压电与声光》下载免费的PDF全文 |
|
