| 光纤耦合声光调制器键合膜系设计与制备 |
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| 引用本文： | 刘玲,曹家强,陈华志,刘保见.光纤耦合声光调制器键合膜系设计与制备[J].压电与声光,2020,42(4):484-487. |
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| 作者姓名： | 刘玲 曹家强 陈华志 刘保见 |
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| 作者单位： | (中国电子科技集团公司第二十六研究所，重庆 400060) |
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| 摘 要： | 为了实现超高速的声光调制，该文提出了一种光纤耦合声光调制器键合膜系的设计与仿真方法。利用该方法设计并制作了一款工作频率为200 MHz、10 ns光脉冲上升时间的光纤耦合声光调制器。器件采用TeO2作为声光介质，36°Y 切LiNbO3作为压电换能器晶片，衬底层采用高纯度Cr，键合层为高纯度Au，结果表明器件性能测试良好。
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| 关 键 词： | 光纤耦合声光调制器 键合膜系 仿真 衬底层 键合层 |
Design and Preparation of Bonding Membrane System of Optical Fiber |
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| LIU Ling,CAO Jiaqiang,CHEN Huazhi,LIU Baojian.Design and Preparation of Bonding Membrane System of Optical Fiber[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2020,42(4):484-487. |
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| Authors: | LIU Ling CAO Jiaqiang CHEN Huazhi LIU Baojian |
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| Affiliation: | (The 26th Institute of China Electronic Technology Group Corporation, Chongqing 400060, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fiber coupled acousto optic modulator bonding membrane system simulation substrate layer bonding layer |
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