弹簧导轨在超精密工作台上的应用

本文根据大规模、超大规模集成电路微细加工超精密工作台的要求,提出了一种能作严格直线运动的微位移工作台,这种工作台由八根弹簧片组成的弹簧导轨支承。文中给出了这种导轨静位移的计算方法,并分析了其预紧力的要求。