|
|||||
|
|
| AlGaAs／GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究 | |
| 引用本文： | 庄岩,王玉田,李建中.AlGaAs／GaAs超晶格界面平整度的X射线双晶衍射研究[J].半导体学报,1995,16(5):334-338. |
| 作者姓名： | 庄岩 王玉田 李建中 |
| 作者单位： | 国家光电子工艺中心，中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 用Ｘ射线运动学的多层膜干涉理论，模拟计算了ＡｌＧａＡｓ／ＧａＡｓ超晶格Ｘ射线双晶衍射摇摆曲线．提出了一种具有整数分子层的界面过渡层理论模型，并运用此理论研究了零级卫星峰的峰峰位的漂移，过渡层对超晶格卫星峰强度的影响以及低级卫星峰的规律性消光规律． |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
| 点击此处可从《半导体学报》浏览原始摘要信息 | |
| 点击此处可从《半导体学报》下载全文 | |