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| 二维微动平台柔性机构动力学建模与分析 | |
| 引用本文： | 刘昊,赖磊捷.二维微动平台柔性机构动力学建模与分析[J].上海工程技术大学学报,2023(2):179-183. |
| 作者姓名： | 刘昊 赖磊捷 |
| 作者单位： | 上海工程技术大学机械与汽车工程学院 |
| 基金项目： | 上海市自然科学基金项目资助（21ZR1426000）； |
| 摘 要： | 提出一种基于并联柔性机构的两自由度平动解耦并联微动平台.平台采用复合双平行四杆柔性机构模块，采用结构对称约束消除轴间耦合和寄生位移的产生，实现X,Y方向的平动.采用刚度矩阵法对该并联柔性机构进行理论分析，根据观察法建立微动工作台的整体刚度矩阵，得到系统的运动微分方程，推导出系统各阶固有频率.采用有限元分析法对微动工作台进行模态分析，得到微动工作台的固有频率和振型.经过理论分析、有限元计算和试验测试，并对结果进行对比，结果的一致性说明理论分析的正确性和刚度矩阵分析的有效性. |
| 关 键 词： | 微定位 柔性机构 刚度矩阵 有限元 |