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| 一种模态局部化压力传感器的设计与仿真北大核心CSCD | |
| 引用本文： | 康昊,曾一笑.一种模态局部化压力传感器的设计与仿真北大核心CSCD[J].仪表技术与传感器,2022(8):25-29. |
| 作者姓名： | 康昊 曾一笑 |
| 作者单位： | 1.西安近代化学研究所710065;2.成都凯天电子股份有限公司610000; |
| 基金项目： | 宁波市自然科学基金(202003N4045)。 |
| 摘 要： | 为了进一步改善谐振式压力传感器的灵敏度,将模态局部化敏感机理应用于谐振式压力传感器,提出了一种基于二自由度谐振器的模态局部化压力传感器。对传感器的敏感膜片和二自由度谐振器进行了理论分析,利用COMSOL有限元软件对传感器的静态载荷和模态振型进行了仿真分析,得到了传感器的压力响应。仿真结果表明,基于幅值比输出的灵敏度为频率输出的473.6倍。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 模态局部化 谐振器 压力传感器 自由度 灵敏度 幅值比 |
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