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| Waveguide—surfatron型表面波等离子体源的特性研究 | |
| 引用本文： | 詹如娟,吴丛凤,等.Waveguide—surfatron型表面波等离子体源的特性研究[J].真空科学与技术,2001,21(1):30-33. |
| 作者姓名： | 詹如娟 吴丛凤 |
| 作者单位： | [1]中国科学技术大学结构分析开放实验室，合肥230026 [2]中国科学技术大学近代物理系，合肥230026 |
| 摘 要： | 报道了所研制的Waveguide-surfatron型表面波等离子体源的特性，理论计算表明，激发表面波模式为m≥1模，在放电室中电磁场均匀性与等离子体的密度有关。实验结果指出，采用Ar气放电，在气压为10-100Pa，微波功率800-1000W的范围内可形成大面（体）积（直径为160mm)等离子体，其电子温度为1-4eV，等离子体密度为10^10-10^11cm^-3量级，实测的等离子体密度与理论计算值基本吻合。 |
| 关 键 词： | 波导型表面波 等离子体源 表面波模 电磁场均匀性 等离子体密度 |
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