基于电流体动力学喷印法的胶体量子点MEMS气体传感器性能

针对传统的成膜工艺无法实现在百微米级并且结构悬空的微电子机械系统(MEMS)基板上实现气敏薄膜制备的问题，利用电流体动力学(EHD)喷印技术结合氧化钨(WO₃)胶体量子点进行气敏薄膜的无掩模沉积。考虑MEMS基板对沉积精度和工艺条件要求较高，因此首先基于EHD理论建立EHD喷印的数值模型，模拟锥射流形成过程以及电压、油墨属性等因素对锥射流稳定性的影响，并采用实验进行对比分析，验证仿真的有效性并制备出符合喷印的墨水，后采用EHD喷印制备MEMS气体传感器。实验结果表明，利用EHD喷印方法制备的WO₃气体传感器的薄膜致密均匀，在150℃下功耗仅20 mW,对体积分数5×10^-6 NO₂的响应值约为10,能实现体积分数5×10^-7～1×10^-5的NO₂检测，检测下限低至1.6×10^-7,具有优异的气敏性能。