基于共面斜叉指状电极的微流控芯片内液滴检测技术

为了监测微流控芯片内的反应过程及反应程度，对液滴在反应中的状态及内容物含量变化进行实时检测变得至关重要。利用T型微流路通道生成微液滴，通过对氧化铟锡(ITO)玻璃进行腐蚀获得共面斜叉指状电极，在电极表面旋涂钝化层避免电极污染。微流路通道中的液滴进入共面电极感应区域可有效引起其电容量变化，进而可以检测芯片内液滴的数量、平均长度、流速和内容物含量等。实验结果表明，设计的共面斜叉指状电极检测灵敏度优于传统的单对并列电极的24%以上。借助光学检测方法得到液滴长度检测的误差在6%以内。利用本检测装置对不同质量分数的甲醇、乙醇和异丙醇液滴进行了检测。实验结果的变化规律与电容检测理论相一致，验证了本液滴检测装置的有效性和可靠性。