高温MEMS薄膜热流传感器研究进展 |
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作者姓名: | 郭怡雪 张梅菊 黄漫国 高向向 郭林琪 张丛春 |
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作者单位: | 1. 上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系;2. 航空工业北京长城航空测控技术研究所;3. 状态监测特种传感技术航空科技重点实验室 |
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基金项目: | 国家重点研发计划项目(2020YFB2009100); |
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摘 要: | 对可用于高温环境的MEMS薄膜热流传感器(TFHFS)的测量原理、结构设计、材料成分以及制造技术进行了简单阐述,分别介绍了半无限几何、热阻式、热电堆和横向热电效应型TFHFS的结构特点和应用优势。归纳讨论了国内外科研团队研制的各种TFHFS的量热法、传感方式、结构、材料以及测量模式,按照热敏材料分为金属和合金型、陶瓷和新型聚合物衍生陶瓷型两类,重点关注TFHFS的高温稳定性、响应时间、灵敏度等性能。最后,总结了目前TFHFS面临的技术难题和发展趋势,可为应用于更严酷环境的高温薄膜热流测量技术提供参考。
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关 键 词: | 微电子机械系统(MEMS) 热流 薄膜热流传感器(TFHFS) 高温环境 热敏材料 |
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