复配表面活性剂对新型阻挡层抛光液抛光性能的影响

针对新型阻挡层抛光液存在Cu和正硅酸乙酯(TEOS)抛光速率一致性差、运输贮存过程中细菌滋生造成抛光表面缺陷的问题，选取脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)非离子表面活性剂和作为杀菌剂的阳离子表面活性剂十二烷基二甲基苄基氯化铵(DDBAC),通过复配2种表面活性剂研究其对Cu和TEOS抛光速率一致性以及杀菌效果的影响，并阐述相关的影响机制。实验结果表明：Cu和TEOS抛光速率随着复配表面活性剂体积分数的增加而降低，复配表面活性剂主要控制测量点到晶圆中心的距离为70～150 mm区域内的铜抛光速率，对于TEOS,复配表面活性剂主要控制0～70 mm区域内的铜抛光速率；复配表面活性剂体积分数的增加可同时提高Cu和TEOS抛光速率一致性，但高体积分数复配表面活性剂可造成表面划伤；DDBAC作为非氧化性的杀菌剂，具有较强的抗菌抑菌能力，可通过改变细菌膜通透性，使细菌裂解死亡，杀菌效果显著。