| 多参量MEMS气体质量流量计 |
| |
| 引用本文： | 黄立基,范德林. 多参量MEMS气体质量流量计[J]. 自动化仪表, 2006, 27(7): 8-10 |
| |
| 作者姓名： | 黄立基 范德林 |
| |
| 作者单位： | 美国矽翔微机电系统有限公司,上海,200233 |
| |
| 摘 要： | 介绍了多参量MEMS气体质量流量计的原理、性能和应用。该流量计采用MEMS流量芯片作为一次传感的核心部件．并配以专门的低功耗二次智能仪表，具有超大量程、微功耗、无压损、小流量灵敏、响应时间快及易于远传和网络化管理等优点，相信该流量计会有很广阔的应用前景。
|
| 关 键 词： | 多参量 低功耗 智能仪表 |
| 收稿时间： | 2006-03-27 |
| 修稿时间： | 2006-03-27 |
MEMS Gas Mass Flow Meter with Multiple Parameters |
| |
| Huang Liji,Fan Delin. MEMS Gas Mass Flow Meter with Multiple Parameters[J]. Process Automation Instrumentation, 2006, 27(7): 8-10 |
| |
| Authors: | Huang Liji Fan Delin |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | Multiple parameters Low power consumption Intelligent instrument |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
